一、溫、濕度及塵埃濃度管理，若有設(shè)備移動或施工時須做局部測量。

二、過濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換。

三、空氣調(diào)節(jié)器管理，定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況。冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。

四、送風(fēng)機(jī)之管理，定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。

五、風(fēng)管及出風(fēng)口之管理，檢查現(xiàn)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。

六、測試及量測儀器管理，定期校正及保養(yǎng)。

七、室內(nèi)壓力管理，連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。

八、冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理，定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以調(diào)整加藥量等。

九、十萬級無塵車間停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理，啟動后立即進(jìn)行微塵粒子之測試，須無塵車間恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。